王为人 发表于 2013-5-30 14:58:11

在comsol4.3a的内置模块PECVD中,模拟时一直不收敛,该怎么调节参数?

在comsol4.3a的内置模块PECVD中,我遇到了点问题,如下:1)在内置的PECVD模块中,我改变温度,从400K提高到800k,或是改变原始气体硅烷组分比例,从5%到95%,计算的结果均不收敛;)我将原有的PECVD改成管式炉结构,反应方程式均未修改,边界条件进行类比修改,并重新进行模拟,但是只有在某一几何形态下能够得到收敛的结果。若将管式炉变长或是改变反应温度,则计算结果不收敛。我曾尝试过修改容差、步长、网格、求解器等方法进行调整,但计算结果均不收敛。这类问题该怎么调节参数?
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