徐欣 发表于 2013-10-15 11:36:30

DEVICE中如何添加掺杂？

DEVICE中如何添加掺杂？

Tiger007 发表于 2013-10-15 13:01:20

DEVICE包含多种解析掺杂模型可供选择，如相应于外延生长、扩散和离子注入法等基本模型。对于一些高级掺杂工艺，也可以将其掺杂模型输入到软件中。
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