陈琳 发表于 2014-2-28 18:01:43

微流控芯片是怎么做出来的？其制作方法有哪些？

陈荣莲 发表于 2014-2-28 18:02:23

芯片微通道的制作主要有如下方法：（1）光刻化学腐蚀方法；（2）等离子或反应离子深刻蚀方法，微通道的截面形状为矩形，可得到较高的深宽比；（3）注塑、印模或激光烧蚀；（4）软刻蚀技术等。键合是微流控芯片加工中一个关键的工艺环节，一般可分为直接键合、静电键合、热键合和粘接等方法，不同的材料，其制作方法也有所不同。
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