王贺勇 发表于 2013-5-7 09:01:21

异质外延生长晶体薄膜的晶向与衬底材料晶向有什么关系？

在使用诸如MOCVD、MBE或者HVPE之类手段外延生长晶体薄膜时,如果衬底材料的晶向,也就是衬底表面的晶面指数,可以任意选择,那么外延出来的薄膜的晶向如何？两者对应关系是如何确定的？如果是同质外延,我想,外延的薄膜去向与衬底去向应该一致,但是如果是异质外延呢？
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