王鹏 发表于 2013-5-8 09:05:25

磁控溅射镀膜时镁靶材辉光颜色为绿色,正常吗？是否被氧化了？

使用磁控溅射设备镀膜,实验使用Ar气,靶材分别为硼靶、镁靶。硼靶材辉光的颜色为紫红色,镁靶材低功率时靶材为紫红偏白,而功率增大后变成绿色。请问磁控溅射中辉光颜色与什么因素相关,绿色是不是因为镁靶材被氧化导致的？
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