单培娟 发表于 2013-5-20 09:59:44

如何刻蚀FTO,使厚的薄膜(300~400nm)变薄(100nm左右)?

想将成品的FTO薄膜(大概300~400nm)腐蚀变成100nm左右,大概是用盐酸,大概的浓度和腐蚀时间是多少?
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