王鹏 发表于 2013-5-22 09:02:59

PVD与CVD方法沉积的SiO2、SiN膜层性能有什么差异？

主要想知道致密性、耐腐蚀性、应力之间有何差异。另还想问一下能使用PVD方法制备SiN薄膜吗？其性能又与CVD方法沉积的薄膜差异怎样？
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