陈荣莲 发表于 2013-5-22 09:04:50

有波导的基底表面能用旋涂涂平吗？

基底上有图案,（槽深约3微米）旋涂涂膜后膜上也会印出图案,下面有沟的地方上面也有沟,能有什么方法涂完膜上面是平的吗？
页: [1]
查看完整版本: 有波导的基底表面能用旋涂涂平吗？