秦静静 发表于 2013-5-22 09:06:21

x-ray 的半峰宽能表征薄膜的什么性质？

最近测x-ray的薄膜的半峰宽, 在不同的基片上面产生的半峰宽不同,应力越大,半峰宽越大,可是我的薄膜的厚度已经把strain 都release掉了。 不知能否指教一下,应该如何解释半峰宽增加？
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