王贺勇 发表于 2013-5-24 09:18:12

有大侠可以提供 Ti 薄膜的刻蚀液配方吗？

如题,本人在用磁控溅射做复合镀层,然后在镀层上图形；第一层镀的钛,第二层镀的金,第三层镀的铬。金和铬的配方都有了,但是洗掉钛的配方没有一个准确的；有大侠可以提供一个精确的,、权威的,洗掉钛的溶液配方吗？
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