单培娟 发表于 2013-5-28 09:04:17

BiFeO3薄膜旋涂烧结后,电阻为什么提不高？

最近采用溶胶凝胶法制备铁酸铋薄膜,在pt/Ti/siO2/Si基片上旋涂,每层都能看到均匀涂上了,每层在400度热解,重复十几次后,测电阻很大,然后在600度退火处理,结果有的片子电阻依然很大,而有的片子电阻很小,才几个欧姆,和电极的电阻一样大,怎么这么不稳定呢？如何避免呢？
页: [1]
查看完整版本: BiFeO3薄膜旋涂烧结后,电阻为什么提不高？