王贺勇 发表于 2013-5-31 09:09:42

为什么我用磁控溅射做不到低电阻的AZO薄膜呢？

为什么我用磁控溅射做不到低电阻的AZO薄膜呢？我做的AZO薄膜的电阻总是在12～17欧之间,厚度800nm左右。
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