王鹏 发表于 2013-6-19 09:19:56

在SEM的操作过程中,如果中途换scan voltage或者spot size是否需要重新focus？在SEM的操作过程中,将扫描信号从二次电子换成背散射电子,是否需要重新focus？在做EDS分析之前,是否应该把扫面信号换成背散射信号？

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