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标题: 磁控溅射O2和Ar设置时单位都是sccm,如何和Pa之间换算呢？ [打印本页]

作者: 王鹏 时间: 2013-5-8 09:04
标题: 磁控溅射O2和Ar设置时单位都是sccm,如何和Pa之间换算呢？

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