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标题: 磁控溅射靶面以外的地方有辉光正常吗？ [打印本页]

作者: 王贺勇 时间: 2013-5-9 09:10
标题: 磁控溅射靶面以外的地方有辉光正常吗？
最近用磁控溅射镀膜时候,发现在靶面以外的地方(真空室窗口附近,工件盘下面)也存在辉光放电的现象,不知道是否正常？什么原因导致的?镀膜气体流量和压强分别为500sccm和 0.2Pa。气体是直接通到靶面周围的,不是通到真空室里的。

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