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标题:
BFO薄膜PLD制备时选择怎样的工艺参数减少其漏电流呢?
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作者:
杨鹏飞
时间:
2013-5-15 09:07
标题:
BFO薄膜PLD制备时选择怎样的工艺参数减少其漏电流呢?
比如沉积氧压,沉积温度,退火氧压等等。
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