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标题: 射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气吗？ [打印本页]

作者: 刘晓强 时间: 2013-5-16 09:11
标题: 射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气吗？
射频溅射制作Pt对电极的时候需要通入氧气吗？为什么需要？如果不通氧气效果会差一些吗？

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