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标题: 如何刻蚀FTO,使厚的薄膜（300~400nm）变薄(100nm左右)？ [打印本页]

作者: 单培娟 时间: 2013-5-20 09:59
标题: 如何刻蚀FTO,使厚的薄膜（300~400nm）变薄(100nm左右)？
想将成品的FTO薄膜（大概300~400nm）腐蚀变成100nm左右,大概是用盐酸,大概的浓度和腐蚀时间是多少？

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