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标题: 磁控溅射ITO时,预溅射是只需通氩气就可以吗？还是氧气也需要通入才可以预溅射？ [打印本页]

作者: 单培娟 时间: 2013-5-20 10:00
标题: 磁控溅射ITO时,预溅射是只需通氩气就可以吗？还是氧气也需要通入才可以预溅射？

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