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标题: 有波导的基底表面能用旋涂涂平吗？ [打印本页]

作者: 陈荣莲 时间: 2013-5-22 09:04
标题: 有波导的基底表面能用旋涂涂平吗？
基底上有图案,（槽深约3微米）旋涂涂膜后膜上也会印出图案,下面有沟的地方上面也有沟,能有什么方法涂完膜上面是平的吗？

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