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标题:
Sapphire 蓝宝石衬底和Al2O3衬底有什么区别?
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作者:
李倩
时间:
2013-5-23 09:11
标题:
Sapphire 蓝宝石衬底和Al2O3衬底有什么区别?
用sputter生长薄膜时看到文献中经常用到Sapphire的衬底,取向是(0001)等,也看到有用Al2O3作为沉底生长的,Sapphire是Al2O3的其中一种吗?这两种有什么区别?
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