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标题: 为什么用磁控溅射长的纳米薄膜,有的长成柱状,有的是层状？ [打印本页]

作者: 王为人 时间: 2013-5-31 09:12
标题: 为什么用磁控溅射长的纳米薄膜,有的长成柱状,有的是层状？
比如,面心立方的Ag是层状,体心立方的V是柱状的,Ag的功率是100W沉积速率20nm每分,V是200w,沉积速率4nm每分,可是跟功率好像没关系,因为Ag的功率是20、40、60w的时候也是层状,V的功率是40、60、140w的时候也是柱状,难道跟晶体结构有关还是其他的。

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