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标题: 用什么方法测薄膜材料中的杂质和空洞？ [打印本页]

作者: 邓超群 时间: 2013-5-31 09:13
标题: 用什么方法测薄膜材料中的杂质和空洞？
想看看薄膜中的杂质种类和大致的含量,另想看看薄膜的致密程度,不知道SEM效果怎么样?

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