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标题: 离子注入薄膜后,RTA温度和时间如何计算？ [打印本页]

作者: 王为人 时间: 2013-6-20 15:41
标题: 离子注入薄膜后,RTA温度和时间如何计算？
比如离子注入Si到15nm的薄膜,7Kev的能量,1e14的剂量,如何确定RTA的退火时间和温度？

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