超精密切削对微量进给装置有哪些要求？常见的有哪几种？

一个好的超精密微位移机构应满足下列设计要求：①粗、精微进给应分开，以提高微位移的精度、分辨力和稳定性。②运动部分必须是低摩擦和高稳定度的，以便实现很高的重复精度。③末级传动元件必须有很高的刚度，即夹持金刚石刀具处必须是高刚度的。④微量进给机构内部联接必须可靠，尽量采用整体结构或刚性联接，否则难以实现很高的重复精度。⑤工艺性要好，容易制造。⑥应具有好的动特性，即具有高的频响。现在使用的微量进给装置主要有机械传动或液压传动式、弹性变形式、热变形式、流体膜变形式、磁致伸缩式、电致伸缩式等。其中磁致伸缩式和电致伸缩式微量进给机构可以进行自动化控制，有较好的动态特性，可以用于误差在线补偿，获得较广泛的应用。