ZnO薄膜预热处理方法有哪些？

最近利用旋涂法在硅基底上做ZnO薄膜,文献中都提高要先用真空干燥箱在150摄氏度左右进行预热处理（然后再退火）,以便使溶剂蒸发提高薄膜的性质,但是我一直很疑惑,预处理时是等真空干燥箱达到150摄氏度左右再把制备的样品迅速放入干燥箱中,还是室温就放入,如果是室温就放入是不是可以利用箱式炉直接预处理和退火？我尝试了利用箱式炉也预热和退火但是薄膜很差,现在想试下利用干燥箱来与处理,但是一直很疑惑预处理的方法。