电子束加工的特点。

电子束加工具有以下特点：(1)利用微细聚焦实现精密微细加工；(2)非接触式加工，不会产生应力和变形；(3)加工速度很快，能量使用率可高达90％；(4)加工过程可自动化；(5)在真空腔中进行，污染少，材料加工表面不氧化；(6)电子束加工需要一整套专用设备和真空系统，价格较贵。