磁控溅射靶面以外的地方有辉光正常吗？

最近用磁控溅射镀膜时候,发现在靶面以外的地方(真空室窗口附近,工件盘下面)也存在辉光放电的现象,不知道是否正常？什么原因导致的?镀膜气体流量和压强分别为500sccm和 0.2Pa。气体是直接通到靶面周围的,不是通到真空室里的。