用什么方法表征可以半导体薄膜中的电注入情况？

最近对制备的半导体薄膜做了电注入操作,即在电极上施加一个直流电压,并保持一段时间,接着对薄膜的电学性能进行测试,发现I~V曲线确实发生了一些变化,我认为是注入的载流子与薄膜中的空间电荷发生了相互作用,结果使薄膜中的空间环境发生了变化,我想对做了不同剂量电注入后薄膜做一些表征,以说明载流子确实被注入进去了,该做哪些表征呢？