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使用磁控溅射设备镀膜,实验使用Ar气,靶材分别为硼靶、镁靶。硼靶材辉光的颜色为紫红色,镁靶材低功率时靶材为紫红偏白,而功率增大后变成绿色。请问磁控溅射中辉光颜色与什么因素相关,绿色是不是因为镁靶材被氧化导致的？
材料学1564
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