DEVICE中如何添加掺杂？

DEVICE中如何添加掺杂？

DEVICE包含多种解析掺杂模型可供选择，如相应于外延生长、扩散和离子注入法等基本模型。对于一些高级掺杂工艺，也可以将其掺杂模型输入到软件中。