超精密机床的床身和导轨多采用哪种材料？为什么？

超精密机床的床身和导轨多采用热膨胀系数低、阻尼特性好、尺寸稳定的花岗岩制造。用花岗岩做床身时，一般都用整体方块，钻孔埋入螺母以便和其他件连接。目前超精密机床导轨主要采用空气静压导轨和液体静压导轨。其中空气静压导轨具有移动精度高、摩擦力小、高速运动时发热少等优点，但其刚度、承载能力及抗振性均较低，多用于小型超精密机床中。