什么是微电子机械系统？

微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)，是指运用微制造技术在一块普通的硅片基体上制造出，集机械零件、传感器执行元件及电子元件于一体的系统。机械及机电的装置制成方式为：应用集成电路制造工艺（如：cmos,bipolar,bicoms工艺）制做电子元件，同时应用相应的微细加工技术对硅晶片进行选择性刻蚀或沉积出新的结构层的方法制造出械零件。微电子机械系统(MEMS)应用微细加工技术集成硅基微电子元件，它必定给几乎所有产品带来一场革命，它也使得 “片式系统（systems-on-a-chip）”变得现实可行。通过把微电子元件的计算能力和微传感器的感觉能力及微执行元件的控制能力集于一体，微电子机械系统具备了真正的发展细小产品的能力。微电子机械系统无论是在其被期望运用的领域，还是在设备设计及制造方面，都体现出极大的差异也富有成果。由于微电子机械技术能将灵敏的感觉和控制功能与微电子元件集成为一体，它极大的拓宽了设计及运用空间。系统中，集成电路（IC）好比是“大脑”，而微电子机械技术则赋予了它眼睛和手臂，让整个系统能够感觉和调控周围的环境。在最基本的系统构成中，传感器从环境中感觉到机械的、热的、生物的、化学的、光学及电磁的变化；电子元件对传感器获得的信息进行分析后作出判断，并指挥执行元件作出相应的，或移动或变换姿态或排序或跳跃或过滤的反应，以此来调控周围环境，达到预期的结果或目的。由于微电子机械系统采用了集成电路批量制造的技术，所以它可以用相对较低的成本把具有超前功能的可靠的复杂的系统置于一个小小的硅片上。微电子机械系统带给科学和工程新的发现，例如用于DNA放大鉴定的聚合酶链式反应微系统，微机械扫描隧道显微镜（SIMS），检查危险化学品和生物制剂的生物芯片，以及用于high-throughput药物监视和挑选的系统。在工业领域，微电子机械设备在巨大的、以每年50%的惊人速度递增的市场中扮演着不同的产品角色。作为一种突破性的技术，一种能对在目前如电子学与生物学般显得毫不相关的领域进行非平行协同的技术，微电子机械系统将会运用于更多的新的超越目前我们所认知的范畴。